表109 2007年半导体器件和集成电路专用设备生产量 销售量和出口量汇总表

条目包含内容：2008年中国信息产业年鉴_表109 2007年半导体器件和集成电路专用设备生产量 销售量和出口量汇总表 半导体器件和集成电路专用没备合计;多晶硅设备;单品硅设备;硅片切割设备;光刻机;匀胶设备;显影设备;扩散设备;离子注入设备;计量单位;企业数;本年生产量;本年销售量;本年出口量;快速热处理没备;物理汽相淀积设备;化学汽相淀积设备;电镀铜设备;清洗设备;划片机;拾片机;金丝键合机;自动注塑封装设备;自动探针台;成品测试设备;