【条目包含内容】: 半导体器件和集成电路专用没备合计 多晶硅设备 单品硅设备 硅片切割设备 光刻机 匀胶设备 显影设备 扩散设备 离子注入设备 计量单位 企业数 本年生产量 本年销售量 本年出口量
【条目出处】: 2008中国信息产业年鉴 >>
表109 2007年半导体器件和集成电路专用设备生产量 销售量和出口量汇总表
【主编单位】: 《中国信息产业年鉴》电子卷编辑委员会
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