【条目包含内容】: 半导体器件和集成电路制造设备合计 晶硅太阳能芯片制造设备小计 制绒清洗设备 扩散炉 等离子刻蚀机 等离子体增强化学气相淀积设备 全自动丝网印刷机 网带快速烧结炉 外延设备 扩散设备 快速热处理设备 光刻机
【条目出处】: 2012中国信息产业年鉴 >>
表90 2011年电子工业专用设备制造生产量 销售量和出口量汇总表
【主编单位】: 《中国信息产业年鉴》编委会
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