【条目包含内容】: 薄膜太阳能片制造设备小计 激光刻蚀机 外延设备 扩散设备 快速热处理设备 光刻机 化学气相淀积设备 化学机械抛光设备 自动探针测试台 划片机 粘片机 键合机 自动封装设备
【条目出处】: 2013中国信息产业年鉴 >>
表92 2012年电子工业专用设备制造生产量 销售量和出口量汇总表
【主编单位】: 《中国信息产业年鉴》编委会
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