【条目包含内容】: 多晶硅铸锭炉 单晶炉 滚圆切断机 倒角机 线切割机 磨片机 抛光机 半导体器件和集成电路制造设备合计 晶硅太阳能芯片制造设备小计 扩散炉 等离子刻蚀机 等离子体增强化学气相淀积设备 网带自动烘干炉
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表96 2014年电子工业专用设备制造生产量 销售量和出口量汇总表
【主编单位】: 《中国信息产业年鉴》编委会
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